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パターンつきLSIウェハーのCMP（化学的機械研磨）の代わりに使えたら、業界的には凄いインパクトになる....かもしれない
同じこと考えたけど、今回のアクリルは純粋に化学研磨のようなので、複数の素材が混じった配線層のCMPには使えない気がする。でこぼこになりそう。
一方、LSI向けでも均質な基板の研磨には良さそう。SOI基板の作成とか、GaNやSiC基板の作成なんかで基板張り合わせがある場合に、きれいな界面を安く作れるならコスト削減になりそう。
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私は悩みをリストアップし始めたが、そのあまりの長さにいやけがさし、何も考えないことにした。-- Robert C. Pike
CMPの代わりに使えるか？ (スコア:0)
パターンつきLSIウェハーのCMP（化学的機械研磨）の代わりに使えたら、業界的には凄いインパクトになる....かもしれない
Re: (スコア:0)
同じこと考えたけど、今回のアクリルは純粋に化学研磨のようなので、複数の素材が混じった配線層のCMPには使えない気がする。
でこぼこになりそう。
一方、LSI向けでも均質な基板の研磨には良さそう。
SOI基板の作成とか、GaNやSiC基板の作成なんかで基板張り合わせがある場合に、きれいな界面を安く作れるならコスト削減になりそう。