「名古屋市立大学ら、水素から重水素の同位体置換を効率よく行える技術」記事へのコメント

要は触媒だから・・・あとは分かるな

[Anonymous Coward]

>シリコンナノ結晶表面
表面で何かが起きて反応効率が変わるといえば触媒ですけど
自動的に触媒毒とか汚染とかおきて反応進まなくなるのをどうするかが
応用の障害になるのは自明なのですけど、この件でも同じようなことは
まあ、起こるだろうし、それが実用化の鍵となることでしょう
ね

Re:要は触媒だから・・・あとは分かるな

[Anonymous Coward]

それはまた別な話では？
今回のは別に触媒として働いてるわけではなく、自身が反応してるんだし。
被毒に関しても、触媒と水素で被毒が問題になるのは表面でHとの結合ができて活性表面がなくなるからだけど、今回のはそもそもH（とかD）との結合を作ること自体が作用の一環なわけで、ちょっと違うような。
今回の話はもっと単純な「結合力の差で分離できます」ってものでは。
※その結合力の差に量子効果が効いている点はポイントだけど。

Re:

[Anonymous Coward]

使ってると表面が汚れて、それを磨けば消耗すると思う
流すガスを高純度にすればいいのだろうけど
まあ、結局は費用対効果、コストだね
実用になるかどうかは

Re:

[Anonymous Coward]

まあ、厳密には触媒ではないのかもしれないけど、触媒と言いたくなる気持ちは分かる。水素ガスに含まれる不純物に選択的に結合しちゃってすぐに使えなくなる、なんていう触媒でよく聞く話と同じことが起こっても不思議はないからね……。

# シリコン触媒とCOやSOxとの反応性は知らんのでAC

Re:

[Anonymous Coward]

追記すると、今でも半導体プラントでSiにHを吸着させるのは問題なく行えているのでしょうが、だからといってこのプロセスでも安心とは行きません。たとえばトリチウム処理の場合、汚染水を半導体プラントで要求される純度まで前処理するのはコスト的に現実的ではありませんので、不純物がはるかに多い環境でもシリコンが不可逆劣化しないことを検証する必要があります。

Re:要は触媒だから・・・あとは分かるな

[Anonymous Coward]

リリース見ればわかる通り、重水素or三重水素を集めるのはリップサービスで、本来の目的は半導体プロセスの改良ですよ。
半導体プロセスの中で、MOSチャネルの高品質化のために水素アニールという工程があるのですが、そこで今回の手法で重水素を選択的に使えればもっと安く高品質になりますよと。
何がうれしいかというと、通常の水素で行うよりトランジスタの長期信頼性が改善したり、ばらつきが減ったり、1/fノイズが減ったりします。

ウエハサイズでも実現できれば、普通に実用化が見えるんじゃないですかね。