アカウント名:
パスワード:
超高精細なCRTに応用できそうですね
CRTの電子源なんぞはそもそもそこまで単色性や細いビーム径が必要とされていないので、無駄にオーバースペック（つまり無意味）です。#このレベルの光源に対しては、途中の光学系での崩れの方が桁違いに大きいので。
半導体露光装置の電子線源に使えないかな？i線の次は電子線といわれて久しいけど、あまり高速化できないのでマスク作成に使われる程度ですよね。「輝度は１０倍以上（中略）エネルギーの広がりは３分の２以下」との事なのでマスクレスで高速なステッパが登場するかも。
電子線露光はスループットが低すぎるのが問題。多少改善してもとてもとても。それと今回のこれ、高分解能電顕の光源としてはいいけど、電子線露光などではそこまで（高分解能のSTEMだと、例えば単原子以下程度のビーム径まで）絞れる必要がない。そういう用途ならこの手法を使わずとももっと高輝度な線源はすでにある。
なろほど。言われてみれば高分解能過ぎますね。失礼しました。
より多くのコメントがこの議論にあるかもしれませんが、JavaScriptが有効ではない環境を使用している場合、クラシックなコメントシステム(D1)に設定を変更する必要があります。
Stay hungry, Stay foolish. -- Steven Paul Jobs
電顕の他にも (スコア:0)
超高精細なCRTに応用できそうですね
Re: (スコア:0)
CRTの電子源なんぞはそもそもそこまで単色性や細いビーム径が必要とされていないので、無駄にオーバースペック（つまり無意味）です。
#このレベルの光源に対しては、途中の光学系での崩れの方が桁違いに大きいので。
Re:電顕の他にも (スコア:1)
半導体露光装置の電子線源に使えないかな？
i線の次は電子線といわれて久しいけど、あまり高速化できないのでマスク作成に使われる程度ですよね。
「輝度は１０倍以上（中略）エネルギーの広がりは３分の２以下」との事なのでマスクレスで高速なステッパが登場するかも。
Re: (スコア:0)
電子線露光はスループットが低すぎるのが問題。多少改善してもとてもとても。
それと今回のこれ、高分解能電顕の光源としてはいいけど、電子線露光などではそこまで（高分解能のSTEMだと、例えば単原子以下程度のビーム径まで）絞れる必要がない。そういう用途ならこの手法を使わずとももっと高輝度な線源はすでにある。
Re:電顕の他にも (スコア:1)
なろほど。言われてみれば高分解能過ぎますね。失礼しました。