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素朴な疑問です。 (スコア:1)
SIMSって定量性よかったでしたっけ?
Re: (スコア:0)
とりあえず表面分析じゃあ、一番だ。
何が含まれてるのかがだいたい判ってれば、ピンポイントで深さ方向に濃度分布をばっちり出せる。
外からの依頼なら測るだけでDigital HiNote Ultraが買える位のお値段を頂きますが。
とりあえずコレは何かな?くらいならEDSやEPMAあたりが適当。
定性的に同定したいならオージェとかXPSとか蛍光X線あたりで。
何かわかったらじゃあ、どんな感じの分布してるのよっていう感じで掛けるかな。
Re:素朴な疑問です。 (スコア:0)
SIMSは「表面分析」だと思ってる人と、「バルク分析」だと思っている人がいます。
ほんとうの表面屋さんから見れば、XPSでさえバルクの分析手段です。